Диапазон измерения, Па·м3/с — 1 - 5x10^(-13)
Время отклика по входу, с — 0,5
Время отклика со щупом, с — 3
Напряжение, В — 13477
Минимальный регистрируемый поток гелия - метод щупа, Па·м3/с — 5x10^(-9)
Минимальный регистрируемый поток гелия, Па·м3/с — 7x10^(-12)
Страна — Российская Федерация
Мощность электродвигателя, кВт — 0,4
Скорость форвакуумной откачки, м3/ч — 1
Скорость откачки по гелию, л/с — 10
Стартовое давление, Па — 10000
