Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 1200 |
Мощность нагрева, кВт | 360 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 800х800х1200 |
Серия | VC |
Предельный вакуум, мбар | 5х10-3/4х10-1 |
Время перемещения садки, мин | 0.5833 |
Давление газа, бар | 6/10 |
Количество рабочих камер | 1/2 |
Рабочий газ | CH4/C2H2+N2 |