Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1300 |
Масса садки, кг | 75 |
Мощность нагрева, кВт | 48 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 300х300х400 |
Серия | VA |
Предельный вакуум, мбар | 5×10-2/5×10-5 |
Давление газа охлаждения, бар | 1.5 |
Рабочий газ | Ar/N |