| Производитель | VAT |
| Страна | Швейцария |
| Дополнительные функции |
Щелевые затворы L-MOTION для полупроводниковых процессов |
| Категория | Вакуумная арматура |
| Модель | 04.3/05.3 |
| Назначение | Промышленный |