Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 2500 |
Мощность нагрева, кВт | 750 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | Ø1800х3000 |
Серия | VOQ |
Предельный вакуум, мбар | 5х10-3 |
Время перемещения садки, мин | 1.2 |
Давление газа охлаждения, бар | 2 |
Емкость бака, л | 24000 |
Количество рабочих камер | 2 |
Рабочий газ | N2/Ar |