Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 600 |
Мощность нагрева, кВт | 150 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 600х600х900 |
Серия | VOQ |
Предельный вакуум, мбар | 5х10-3 |
Время перемещения садки, мин | 0.4167 |
Давление газа охлаждения, бар | 0,8-2 |
Емкость бака, л | 5500 |
Количество рабочих камер | 2 |
Рабочий газ | N2/Ar |