Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 800 |
Мощность нагрева, кВт | 150 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | 600х600х900 |
Серия | VGQ |
Предельный вакуум, мбар | 5×10-2/5×10-5 |
Давление газа охлаждения, бар | 6/10/15/20 |
Давление газа при конвективном нагреве, бар | 1-2 |
Количество рабочих камер | 1/2 |
Рабочий газ | N2/Ar/He |