Производитель | ERSTEVAK Ltd. |
Максимальная температура, °С | 1350 |
Масса садки, кг | 1450 |
Мощность нагрева, кВт | 420 |
Однородность температуры, °C | ±5 |
Размеры рабочей камеры, мм | Ø1500х1500 |
Серия | VA |
Предельный вакуум, мбар | 5×10-2/5×10-5 |
Давление газа охлаждения, бар | 2 |
Рабочий газ | Ar/N |