Вакуумный манипулятор UHV Design TETRAXE TTX100-100

Производитель

UHV Design

Страна

Великобритания

Базовый фланец

CF100 (6")

Векторное движение к жестким остановкам, мм

+-35

Векторный ход к концевым выключателям, мм

+-35

Диаметр трубы, мм

102

Дополнительные порты

-

Изменение параллелизма фланца

<2 mrad

Категория

Вакуумный манипулятор

Линейное разрешение на 1/2 шага, мм

0,00125

Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала)

200 N

Максимальный диаметр зонда для полного хода, мм

31

Максимальный консольный момент

10 Nm

Модель

TTX100-100

Назначение

Промышленный

Наклон фланца

+/- 2 градуса

Подвижный фланец

CF100 (6")

Разрешение

0,001 мм

Разрешение микрометра по оси X и Y

0,002 мм

Серия

TETRAXE

Температура выпекания, °C

250

Ход до жесткого упора, мм

+-25

Ход до концевых выключателей, мм

+-25

Ход по Z, мм

25-300

Шаг винта по оси X и Y, мм

0,5

Шаг ходового винта, мм

2