| Производитель | Pfeiffer Vacuum |
| Страна | Германия |
| Внутренний диаметр, мм | 38 |
| Габаритные размеры, мм | (225-425)x515x82 |
| Герметичность | 1x10^(-10) |
| Диаметр трубы, мм | DN 40 CF |
| Диапазон действия | 200 |
| Диапазон измерения, мбар | 1x10^(-10) - до давления окружающей среды |
| Категория | Вакуумный манипулятор |
| Материал | Нержавеющая сталь |
| Модель | 420MXYZ040-200 |
| Назначение | Промышленный |
| Ориентация | Любая |
| Разрешение | 5 µm |
| Серия | XYZ |
| Срок службы | 10000 циклов |
| Температура выпекания, °C | 230 |
| Точность | 5 µm |
| Ход по XY, мм | +-12,5 |
| Шаг шарико-винтового привода | 2 мм / оборот |
