| Производитель | Osaka Vacuum |
| Страна | Япония |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 41 |
| Время разгона ротора, мин | 13 |
| Вход и выход | VG150/CF160/ISO-B160 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^8 |
| Коэффициент сжатия водорода | 3x10^3 |
| Модель | TG553 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар |
1x10^(-9) |
| Серия | TG |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 550 |
| Скорость откачки по водороду, л/с | 370 |
