| Производитель | Ebara |
| Страна | Япония |
| Тип | Винтовой |
| Вес, кг | 320 |
| Вход и выход | 100 ISO-K |
| Габаритные размеры, мм | 810x380x827 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Модель | EV-M102N |
| Мощность электродвигателя, кВт | 3,8 |
| Назначение | Промышленный |
| Напряжение, В |
380-440 200-220 |
| Предельное остаточное давление, мбар |
5x10^(-2) |
| Расход охлаждающей воды, л/ ч | 180-480 |
| Серия | EV-M |
| Скорость откачки по азоту, л/с | 166,6 |
