| Производитель | CBVAC |
| Страна | КНР |
| Тип | Турбомолекулярный |
| Вес, кг | 29 |
| Время разгона ротора, мин | 5 |
| Вход и выход | CF200 / KF40 |
| Категория | Вакуумный насос |
| Коэффициент сжатия азота | 1x10^9 |
| Коэффициент сжатия водорода | 1x10^4 |
| Модель | CFB-600F-3164 |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,55 |
| Назначение | Промышленный |
| Предельное остаточное давление, мбар |
8x10^(-10) |
| Серия | CFB |
| Скорость откачки, л/с | 600 |
| Частота вращения, об/мин |
24000 |
